1、潔凈室防火的重要性
a、潔凈室是密閉廠房。一般情況下不設外門、外窗，越是凈化級別高其位置越在核心中間部位的無窗密閉廠房。如果出現火情，不僅財產會受很大損失，更重要的是人員難以疏散會有人員的傷亡。
b、潔凈室是重要的科研和生產場所，生產會使用大量的易燃、易爆的氣體、溶劑和有機物質，同時也還會使用大量的有毒有害物質，一旦發生火災，后果不堪設想。
c、潔凈室是為高科技服務，不僅僅潔凈室本身的建造費用高（2000~10000元/m²），而且潔凈室內的生產設備的價格更高，有的微電子設備每臺都數百萬美元。如果發生火災，財產損失慘重。
集上述一些因素，潔凈室的防火是十分重要的。
2、潔凈室的防火措施
a、建筑結構的材料應用不燃材料制作。潔凈室的裝修材料也應采用不燃材料制作。應嚴格按“潔凈廠房設計規范”中5.2“防火和疏散”一節的要求執行。
b、生產工藝要盡量不用和少用易燃易爆的原材料。如果必須使用，盡量采取密封措施不散放出來，并且加強通風換氣。工藝生產使用易燃易爆氣體時建議在氣源瓶和使用設備中間加一個“中間分配箱”，使正常情況下是與易燃易爆有毒有害氣源是處于斷開的狀況。
c、采取必要的報警和滅火措施
① 加強早期報警。采用空氣采樣器和感溫探頭系統聯合進行報警，實現對陰火和明火的早期報警（空氣采樣器對陰火非常敏感，感溫探頭對明火非常敏感）。
② 設置室內外消火栓和潔凈室自動噴淋滅火系統。
潔凈室應有完善的室外消火栓滅火系統。
在潔凈室的室內和上技術夾層、下技術夾層均設置完善的室內消火栓滅火系統和預作用水噴灑滅火系統。在正常情況下預作用噴灑系統管道內是充滿壓縮空氣，當探頭報警后，該系統啟動水泵并排氣充水，當火災發生后，著火處燒破玻璃泡水自動噴灑出來滅火。
③ 設置疏散排煙系統
按“潔凈廠房設計規范”GB 50073-2001要求潔凈室的疏散走廊應設排煙或防煙系統保證人員的疏散安全。
利用工藝設備的排風系統和空調凈化系統兼作火災時的排煙系統以利人員疏散目的。
按消防部門或保險單位的要求，必要時還要設計潔凈室的全面排煙系統。
3、在組織上要有一個訓練有素的消防滅火隊伍。這個隊伍產生在作業工人隊伍之中，有了火情這支隊伍就可執行引導人員疏散和有組織的滅火工作。形成臨危不亂，有組織有領導的局面。