1、本測試用于確認(rèn)有無被污染的空氣從相鄰潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室(區(qū))。一般適用于1級至5級的潔凈室(區(qū))進(jìn)行測試。采用光度計(jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行測試。
2、采用粒子計(jì)數(shù)器法時(shí),測量被評價(jià)的表面的潔凈室(區(qū))外部的空氣中懸浮粒子濃度,應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)的濃度大一個(gè)104的倍數(shù),并至少大于等于3.5×106/m3待測粒徑;若其空氣中懸浮粒子濃度小于該值,應(yīng)添加氣溶膠提高濃度。
粒子計(jì)數(shù)器掃描時(shí),儀器應(yīng)距離潔凈室(區(qū))內(nèi)待測試的接縫密封處或嚙合面5~10cm;掃描速度5cm/s。對敞開的門廊處的測試,應(yīng)在距離潔凈室(區(qū))內(nèi)敞開的門0.3~3.0m處檢測空氣中懸浮粒子濃度。
3、采用光度計(jì)法時(shí),測量被評價(jià)的表面的潔凈室(區(qū))外部的空氣中懸浮粒子濃度高于光度計(jì)按0.1%設(shè)定值的負(fù)載,若光度計(jì)為0.1%刻度值的讀數(shù)超過0.01%就表明有滲漏。