（1）集中送風方式
這種送風方式一般是數(shù)臺大型新風處理機組和凈化循環(huán)機組集中設(shè)置在空調(diào)機房內(nèi)，空調(diào)機組可位于潔凈室的側(cè)面或頂部。經(jīng)過溫濕度處理和過濾后的空氣由離心風機或軸流風機加壓后通過風道送入送風靜壓箱，再由空氣過濾器或超空氣過濾器過濾后送入潔凈室。回風經(jīng)格柵地板系統(tǒng)，流入回風靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統(tǒng)，如此反復(fù)循環(huán)運行。
（2）隧道潔凈室送風方式
這種送風方式一般將潔凈室劃分為生產(chǎn)核心區(qū)和維護區(qū)，生產(chǎn)核心區(qū)要求高潔凈度和嚴格的溫濕度控制，設(shè)在單向流送風區(qū)內(nèi)；維護區(qū)要求較低，設(shè)置在生產(chǎn)輔助設(shè)備或無潔凈要求的生產(chǎn)設(shè)備的尾部或配管配線等。生產(chǎn)區(qū)為送風區(qū)，維護區(qū)為回風區(qū)，構(gòu)成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風是由多個空氣循環(huán)系統(tǒng)組成，所以其中一臺循環(huán)機組出現(xiàn)故障不會影響其他區(qū)域生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度，并且各個循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)生產(chǎn)需要進行分區(qū)調(diào)控。
（3）風機過濾單元送風方式
在潔凈室的吊頂上安裝多臺風機過濾單元(FFU)機組，構(gòu)成循環(huán)系統(tǒng)，不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機房，送風靜壓箱為負壓。空氣由FFU送到潔凈室，從回風靜壓箱經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風靜壓箱。根據(jù)潔凈室的溫度調(diào)節(jié)需要，一般在回風夾道設(shè)干式表冷器。新風處理機可集中設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)，處理后的新風直接送入送風靜壓箱。因送風靜壓箱為負壓，有利于空氣過濾器頂棚的密封；但由于FFU機組臺數(shù)較多，在滿布率較高時，一般投資較大，運行費用也高。有些FFU噪聲較大，選用時需要注意。
（4）模塊式風機單元送風方式
這種送風方式是送風機安裝在空氣過濾器或超空氣過濾器之上，1臺送風機可配置數(shù)臺過濾器的空氣循環(huán)系統(tǒng)。這種模塊式風機單元循環(huán)系統(tǒng)屬無管道方式，空氣輸送速度較低，送風機和過濾器維修較方便，能量消耗較少。
（5）微環(huán)境+開放式潔凈室的送風方式
這種方式可以確保極為嚴格的半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)環(huán)境或設(shè)備的微環(huán)境控制達到高潔凈度等級(如0.05~0. lμm, ISO 1級)，而其周圍的開放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對較差的潔凈度等級(如ISO 5級或ISO 6級)，微環(huán)境內(nèi)為潔凈度控制嚴格的單向流潔凈環(huán)境，而開放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能量消耗較少，工藝布置靈活性好，建設(shè)投資和運行費用都可以降低。